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我国急需研制高精度金刚石切割片工具

2017-05-24 11:36:54 

近年来,随着半导体制造技术的日渐成熟,硅片制造成本也在不断降低,但是太阳能电池生产中对硅片的切割片成本却一直居高不下,要占太阳能电池总造价的30%以上。为了防止硅片的加工期间发生崩边,降低材料浪费,硅片的切割倾向于是用薄刀片。目前切割硅片所使用的刀片可大致分为厚度15~100μm的电镀刀片和100~500μm的树脂刀片两种。

我国急需研制高精度金刚石切割片工具

在我国,目前生产电镀金刚石超薄切割片技术还不够成熟,仍处于试验研究阶段,加工太阳能电池硅片所需的超薄切割片主要依赖从美国、德国和日本进口,因此,研制高精度金刚石切割工具是我国工具及微电子行业迫切需要解决的问题。

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